質量流量計主要是由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
它采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
質量流量計為何要進行穩(wěn)壓補償：
常用的流量計大多只能夠直接測量流體的體積，并不能直接測量質量，如果只測量流體在當前工況下的體積時，質量流量計儀表可以直接顯示出來。但是如果要求流量計顯示為流體質量時，需要通過計算即時采樣的流體體積參數(shù)與密度參數(shù)相乘的積而得出結果（質量=密度X體積）而并非直接測量出流體的質量。
質量流量計作為流量儀表，它測量出來的數(shù)據(jù)一定要準確，如果要測量流體的質量時就涉及到一個問題：就是流體的密度是否恒定。如果流體的密度始終如一，那么只要把流體的密度參數(shù)固定在儀表上即可，但是在流體的密度是不斷變化的情況下，就要不斷地根據(jù)當前流體的工況對流體的密度參數(shù)進行調整，這種在流量測量中，根據(jù)流體工況對流體密度參數(shù)的調整的做法就是密度補償。
所謂的壓力補償實際上就是根據(jù)流體工況中的壓力參數(shù)，來調整流體密度的數(shù)值。如果在測量中只根據(jù)流體工況中溫度或壓力兩個參數(shù)之中的某一個參數(shù)來調整密度參數(shù)的做法叫溫度補償或壓力補償，但是如果同時根據(jù)溫度和壓力的參數(shù)來調整密度的參數(shù)做法叫做溫度壓力補償。
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